射频电源水冷系列(3kW-20kW)
一、产品概述
DX-RFS-13XXX是公司开发的高性能射频电源采用高性能功放电路、高精度VI检测、全数字化高速功率控制，可实时显示输出、反射功率及负载阻抗，控制电路对功率进行快速动态调节可在负载变化时仍保持输出平稳，支持连续、脉冲输出及相位同步功能，且具有快速电弧检测及抑制能力，能有效的保护负载及电源本身。可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、等离子科研等领域。
二、产品特点
1、采用先进高效率、高稳定性射频功放技术
2、采用高速全数字化处理，响应速度快，输出功率平稳
3、输出功率余量大，能够长期稳定运行
4、精确测量输出功率、反射功率和负载阻抗
5、支持自动增益控制(AGC)，实现输出功率的精准控制
6、支持本地控制、10控制以及通过RS485和RJ45端口的远程控制
7、采用先进的功率放大器技术，支持从最小到最大功率的连续调节
8、具有电弧抑制功能，能够快速检测电弧并进行智能灭弧处理
9、具有自动频率调谐功能
10、支持过载、过流和过热保护
三、应用行业
太阳能光伏产业
平板显示器行业
半导体行业
化工与制造业
医疗美容行业
科研行业
四、技术指标
应用领域及行业：
半导体工艺设备、等离子体处理、材料表面改性、LED与?太阳能光伏产业?、科学实验、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等
等离子体清洗、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、薄膜沉积、硅晶镀膜等。