射频电源匹配器一体机
一、产品概述
DX-RFM-13.56/27.12/40.68 系列射频电源匹配器一体机将射频电源和匹配器集成到一台设备中，结构紧凑，体积小，安装使用便捷。内置稳定可靠的信号源、功放模块及匹配器，能精确的测量入射和反射功率，可精准控制输出功率。广泛用于真空等离子体发生器、薄膜沉积等应用场景中。
二、产品特点
1、射频电源与匹配器一体化设计，结构紧凑，便于运输与安装
2、全数字化处理，匹配精度高，响应速度快
3、输出功率余量大，可长期稳定运行
4、精确测量输出功率、反射功率及匹配阻抗
5、支持自动增益控制(AGC)，实现输出功率精确调控
6、支持本地控制、10控制及通过RS485和RJ45端口的远程控制
7、采用先进功率放大技术，支持从最小到最大功率的连续调节
8、具有电弧抑制功能，能够快速检测电弧并进行智能灭弧处理
9、支持过载、过流及过热保护
三、技术指标
应用领域及行业：
半导体工艺设备、等离子体处理、材料表面改性、LED与?太阳能光伏产业?、科学实验、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等
等离子体清洗、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、薄膜沉积、硅晶镀膜等。